본 발명은 표면 개질된 실리카와 그 제조방법 및 장치에 관한 것으로서, 에폭시 봉지재의 각종 물성을 우수하게 개선시킨 표면 개질된 실리카와 그 제조방법 및 장치에 관한 것이다.

실리카의 표면이 아민계 화합물, 1,2-에폭시-5-헥센(1,2-epoxy-5-hexene), 알릴머캅탄(allylmercaptan) 및 알릴알콜(allylalcohol) 중에서 선택된 것으로 플라즈마 중합법으로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 개질된 에폭시 봉지재용 실리카.

반도체 패키지용 에폭시 봉지재의 주성분인 실리카와 에폭시 수지간의 접착력 향상을 위하여 에폭시 수지와 화학적 결합이 가능한 반응기를 함유한 아민계 화합물, 1,2-에폭시-5-헥센, 알릴머캅탄 및 알릴알콜 중에서 선택된 단량체로 실리카를 플라즈마 중합 코팅방법으로 표면 개질시키고, 이 표면 개질된 실리카를 사용하여 에폭시 봉지재를 제조함으로써, 종래에 비해 환경 친화적이며, 에폭시 봉지재의 각종 물성을 우수하게 개선시킨 표면 개질된 실리카와 그 제조방법 및 장치에 관한 것이다.